Zajednički odjel za elektroničke elemente i poluvodičke integrirane sklopove i Odjel za obrazovanje Hrvatske sekcije IEEE pozivaju vas na predavanje
"Pripreme, karakterizacije i mogućnosti primjene tankih mikro- i nano-strukturnih filmova silicija i silicijevog oksida"
koje će održati Dr.sc. Mile Ivanda s Instituta Ruđer Bošković u ponedjeljak 18. prosinca 2006. u 13 sati u seminaru Zavoda za elektroniku, mikroelektroniku, računarske i inteligentne sustave Fakulteta elektrotehnike i računarstva u Zagrebu (zgrada D, treći kat).
Sadržaj predavanja:
U ovom će predavanju biti prikazani neki od rezultata istraživanja silicijevih mikro- i nano-struktura na Institutu Ruđer Bošković u Zagrebu. U uvodnom dijelu ukratko će biti opisane istraživačke problematike i eksperimentalne laboratorijske metode koje uključuju i metodu LPCVD (Low Pressure Chemical Vapour Deposition). Dobiveni tanki polisilicijski i oksidni filmovi, polisilicijski filmovi dopirani borom, te porozni silicij karakterizirani su Ramanovom i infracrvenom spektroskopijom, mikroskopijama SEM i AFM, te električnim metodama. Rezultati pripreme i karakterizacija diskutirani su s obzirom na moguću primjenu u senzorskim tehnikama, kao i u planarnoj tehnologiji izrade polisilicijskog grijaćeg elementa.
O predavaču:
Mile Ivanda znanstveni je savjetnik iz područja fizike u Institutu Ruđer Bošković. Diplomirao je godine 1986. na Prirodoslovno-matematičkom fakultetu Sveučilišta u Zagrebu. Magistrirao je 1990. i doktorirao 1992. na Institutu Ruđer Bošković u Zagrebu, gdje je i zaposlen od godine 1986. Od 1994. do 1996. boravi na Sveučilištu u Wuerzburgu u Njemačkoj kao poslije-doktorski stipendista fondacije Alexander von Humboldt. Na Sveučilištu u Trentu u Italiji boravi kao gostujući znanstvenik godine 2000. Bavi se istraživanjem strkture i optoelektroničkih svojstava nanočestičnih materijala. Vodio je tehnološki projekt "Usvajanje i razvoj LPCVD procesa" u okviru kojeg razvija metode za depoziciju tankih poluvodičkih i oksidnih filmova. Kao pozvani predavač prikazao je rezultate svojih istraživanja na velikom broju domaćih i međunarodnih konferencija. Objavio je više od 100 znanstvenih radova u međunarodnim časopisima i knjigama.
